Vakuumausrüstung für Perowskitabscheidung

Publikations­datum

25.09.2020

Meldungs­nummer

1156225

Art

Ausschreibungen Bau

Kanton

ZH

Eingabetermin

05.11.2020

Beschreibung

Zweck dieser Ausschreibung ist die Anschaffung einer Glovebox mit integrierter Vakuumausrüstung für die Perowskitabscheidung. Das System wird aus einer PVD-CVD-Ausrüstung bestehen, die in eine N2-Glovebox integriert ist, die N2 enthält: - Ein Verdampfer für die ladungsselektive und Metallkontakt-Materialabscheidung. - Ein zweiter Verdampfer für die Perowskit-Vorläufer- und Co-Verdampfung vom Typ ABX3. - Arbeitsraum von mindestens 1250 mm (~600mm tief) für die Probenhandhabung und Probenpräparation. - Arbeitsraum für die Nassbehandlung in einer Umgebung mit hoher Lösungsmittelkonzentration, wie z.B. Sprühbeschichtung oder Schleuderbeschichtung. - Falls verfügbar, sollte eine optionale CVD-Konvertierungskammer angeboten werden (getrennt vom Hauptangebot). Dieses Werkzeug ist als Perowskit-Konvertierungssystem mit (festen) oder Ganohalogenid-Quellmaterialien (z.B. FAI) zu verwenden.

Kontakt

Empa Dübendorf
M. Oertig
Ueberlandstrasse 129
8600 Dübendorf

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