2D-Fotolithografiesystem mit direktem Laserschreiben

Publikations­datum

04.08.2021

Meldungs­nummer

1211725

Art

Ausschreibungen Bau

Kanton

Eingabetermin

13.09.2021

Beschreibung

Die EPFL beabsichtigt, ein 2D-Fotolithografiesystem mit direktem Laserschreiben für das CMi, die multidisziplinäre ISO-5-Reinraumplattform der EPFL, zu erwerben. Dieses Belichtungsgerät verwendet eine Hochleistungs i-Line Lichtquelle (365 nm - 440 nm), um traditionelle Photoresists auf Novolak-Basis und alle UV-empfindlichen Polymere direkt zu belichten (keine Fotomasken erforderlich). Die fortschrittliche Projektionstechnologie ermöglicht das Drucken von 2D-CAD-Mustern (in den Dateiformaten GDS, CIF, DXF, OAS) ohne Dimensionsbeschränkungen mit hoher Geschwindigkeit (<20 Minuten pro Fläche von 100 * 100 mm2) mit guter Überlagerungsgenauigkeit (mit bestehenden Strukturen) und minimalen Stichfehlern (Feld-zu-Feld-Fehlausrichtung).

Kontakt

Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Dr. Philippe Flückiger
Bâtiment BM 1.128 – Station 17
1015 Lausanne

Hauptseite

Ausschreibungen

Firmen-Überwachung

Firmenmonitor.ch informiert Sie über Mutationen aller Firmen, welche im Handels­register eingetragen sind. Nutzen Sie unseren Service, um sich frühzeitig zu informieren.

www.firmenmonitor.ch »

Firmenadressen kaufen

Für die Er­wei­te­rung Ihres Kun­den­kreises kön­nen Firmen­adressen individuell gekauft werden. Rund 750'000 Schweizer Firmen­adressen, selek­tierbar nach Ihren Bedürfnissen.

www.adressenshop.ch »

Neugründeradressen

Abonnieren Sie das täg­liche Up­date aller Firmen, die gerade neu ge­gründet wur­den. Lassen Sie sich täglich die neu­gegründenten Firmen­adressen als Excel-Datei liefern.

www.neugruenderadressen.ch »