100 kV high-resolution e-beam lithography system (EBL)
Publikationsdatum
03.06.2023
Meldungsnummer
1339997
Art
Ausschreibungen Bau
Kanton
AG
Eingabetermin
14.07.2023
Beschreibung
100 kV hochauflösendes Elektronenstrahllithographiesystem mit Gaußstrahl für den neuen Reinraum der Abteilung Photon Science des Paul Scherrer Instituts (PSI).
Mehr Details in der Anforderungs-Spezifikation PSI-HK67-001 Rev. 2.00
Kontakt
Paul-Scherrer-Institut (PSI)
Armin Lampart
OVGA-217
5232 Villigen
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