Silizium-Testwafer und doppelseitig polierte Siliziumwafer für das Reinraumlabor des Center of MicroNanotechnology: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
Die EPFL beabsichtigt, Silizium-Testwafer sowie doppelseitig polierte Siliziumwafer für ihr Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie (CMi) im Reinraum zu beschaffen.
Ein bedeutender Teil der Verfahrensentwicklung am CMi basiert auf Siliziumsubstraten, was eine umfangreiche Versorgung mit Siliziumwafern erforderlich macht. Um einen ausreichenden Vorrat zu gewährleisten, bestellt das CMi alle vier Jahre neue Wafer, um die kontinuierliche Verfügbarkeit für Benutzer und Mitarbeitende sicherzustellen.
Dr Jérôme Butty
EPFL AVP-CP ECO BI A2 447 (Bâtiment BI) Station 7
1015 Lausanne
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